삼성전자, 에프에스티에 430억원 투자
삼성전자, 에프에스티에 430억원 투자
  • 한주엽 기자
  • 승인 2021.03.02 19:22
  • 댓글 1
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EUV 펠리클 개발 속도낼 듯

삼성전자가 반도체 소재장비 전문업체 에프에스티에 430억원을 투자하기로 했다. 삼성전자는 최근 주요 반도체 협력사에 지분 투자를 연이어 단행하면서 공급망을 다져가고 있다. 

2일 에프에스티는 삼성전자를 상대로 신주 152만2975주를 발행하는 제3자 배정 유상증자를 결정했다고 공시했다. 발행가액은 2만8240원. 총액은 430억원 규모다. 증자가 완료되면 삼성전자는 에프에스티 지분 6.9%를 보유하게 된다. 장명식 회장과 에프에스티의 비상장 관계사인 시앰테크놀로지에 이어 삼성전자가 3대 주주로 이름을 올린다.

에프에스티는 조달한 자금 중 300억원은 시설자금으로, 130억원은 운영자금으로 사용할 예정이라고 밝혔다.

에프에스티는 반도체 생산 시 마스크를 먼지로부터 보호하는 펠리클과 프로세서 챔버 내 온도를 제어하는 칠러가 주력 매출원이다. 매출 비중은 각각 절반 정도씩이다. 에프에스티는 차세대 성장동력 사업으로 극자외선(EUV)용 펠리클을 개발 중이다. 올해 1분기에 실리콘카바이드(SiC) 재료 기반, 30나노 두께, 90% 투과율을 사양을 달성한 '풀사이즈' EUV 펠리클을 출시하는 것이 회사 목표다. 현재 EUV 펠리클을 제대로 양산하는 곳이 없기 때문에 개발에 성공한다면 매출에 상당한 보탬이 될 것으로 전문가들은 보고 있다. 삼성전자도 이 같은 미래 가능성을 보고 투자한 것으로 분석된다. 

삼성전자는 지난해 에스앤에스텍(659억원, 블랭크마스크 및 펠리클)과 와이아이케이(473억원, 전공정 검사 장비), 케이씨텍(207억원, 세정장비 및 CMP슬러리), 미코세라믹스(216억원, 세라믹부품), 엘오티베큠(189억원, 진공장비), 뉴파워프라즈마(127억원, 플라즈마 생성 부품) 등의 유상증자에 참여해 수백억원씩을 투자했다. 삼성전자는 이외에도 에이테크솔루션(15.9%), 원익IPS(3.8%), 원익홀딩스(2.3%), 동진쎄미켐(4.8%), 솔브레인홀딩스(4.8%) 등 여러 협력업체의 지분을 보유 중이다.


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박성원 2021-03-02 19:47:04
에프에스티는 조달한 자금 중 300억원은 시설자금으로, 130억원은 시설자금으로 사용할 예정이라고 밝혔다.


시설자금이 2번 반복됐네요.

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