○2020년 글로벌 노광장비 출하 전년보다 30대 많은 580대
- 중국 시장조사기관 칩인사이츠에 따르면 2020년 글로벌 노광장비 출하는 전년보다 30대 증가한 580대를 기록했음.
- 그중 반도체 제조용 410대, 패널, LED용 노광장비 170대.
○톱3 반도체용 노광장비 출하, 전년 대비 15% 늘어난 413대
- 2020년 톱3 장비제조사(ASML, 니콘, 캐논)의 반도체용 노광장비 출하는 2019년의 359대보다 54대(15%) 늘어난 413대.
- EUV, ArFi, ArF 첨단장비 3종의 출하는 2019년의 154대보다 7% 감소한 143대.
- 그중 ASML은 121대로 시장점유율 85%를 기록. 전년 대비 1%p 증가했음.
- 니콘은 22대로 시장점유율 15%, 전년 대비 1%p 감소.
○ASML의 시장점유율
- EUV장비 시장은 ASML가 100% 독식.
- ArFi 분야에서 ASML의 시장점유율은 전년 대비 2%p 감소한 86%.
- ArF 분야에서는 전년 대비 4%p 증가한 67% 차지.
- KrF 분야도 전년 대비 8%p 증가한 71%.
- 365nm 시장도 27% 차지.
○톱3 총매출 중 ASML 비중 5%p 증가, EUV 출하량 5대 증가
- 톱3 노광장비 업체의 2020년 총매출은 전년 대비 4.6% 소폭 증가한 988억위안.
- ASML의 매출 비중이 전년 대비 5%p 증가해 79%를 차지.
- 2020년 각종 노광장비 출하량은 13% 증가했으며, EUV 출하량 5대 증가가 총매출 증가에 10% 이상 기여했음.
▸ASML
- 2020년 ASML 매출 전년 대비 10.8% 780억위안.
- 2019년의 229대에서 29대(13%) 증가한 258대 출하.
- 그중 EUV 장비는 2019년보다 5대 증가한 31대.
- ArFi 장비는 2019년보다 14대 감소한 678대.
- ArF 장비 출하량은 22대로 2018년과 비슷한 수준.
- KrF 장비는 2019년에서 38대 늘어난 103대.
- 365nm 장비는 2019년과 같은 34대.
- EUV 평균 판매가는 전년 대비 35% 오른 11억위안대.
- 2011년 EUV장비 첫 출하 이후 2020년 4분기까지 총 101대 출하.
- 단가도 점점 높아져 2020년 4분기 6대에 86억위안에 판매. 대당 14억위안대.
- 2020년 매출 중 중국시장이 18%(140억위안 이상) 기여. 중국 내륙 팹에서 최소 30대 이상 반입한 것으로 풀이됨.
▸니콘
- 2020년 니콘의 EUV장비 총 매출은 전년 대비 23% 감소한 120억위안.
- 반도체용 노광장비 출하는 2019년보다 13대 감소한 33대.
- 그중 ArFi 노광장비는 2019년과 같은 11대.
- ArF 장비 출하량은 2019년보다 2대 적은 11대.
- KrF 장비는 2017년보다 2대 적은 2대.
- 365nm 장비는 2019년보다 9대 적은 9대.
- 새 장비 26대, 리퍼 장비 7대 출하.
- FPD용은 2019년보다 50% 감소한 20대 출하.
- 패널용 노광장비는 주로 10.5세대용, 총 13대 출하.
▸캐논
- 캐논의 노광장비 총 매출은 전년 대비 7% 감소한 88억위안을 기록.
- 반도체용 출하는 전부 365nm, KrF 저가제품, 출하량은 2019년보다 38대(32%) 증가한 122대.
- 그중 365nm 장비가 주력. 화합물반도체와 PLP(Panel Level Package) 발전 덕분.
- 2020년 7월, PLP용 365nm 스테핑 노광장비 FPA-8000iW 출시로 515×510mm의 대형 사각기판에 대응.
- 캐논이 자체개발한 투영광학시스템은 52×68mm 대시보드 노출이 가능해 PLP 노광장비 중고급 수준의 1.0μm 해상력 도달. AI칩, HPCR의 패키징 지원.
- 실리콘 기반 및 SiC, GaN 등 화합물 반도체 웨이퍼를 생산할 수 있는 새로운 365nm 스테핑 노광기 FPA-3030i5a를 올해 3월 출하할 예정.
- 올해 2월 FPA-3030iWa 노광장비 공식출하. 투영렌즈는 52mmx52mm의 광각이고 NA는 0.16~0.24 범위 내에서 조절 가능함.
- 새 장비는 2~8인치 사이에서 웨이퍼 크기를 자유롭게 선택할 수 있는 시스템으로 앞으로 수요가 늘어날 자동차 출력기기, 5G 관련 통신기기, IoT 관련기기(MEMS와 센서 등) 제조 공정에 활용될 수 있음.
- FPD용 노광장비는 2019년보다 36% 감소한 18대 출하.
