○중국은 자체 기술로 리소그래피 장비를 개발했다는 사실에 상당한 의미를 부여.- 환구시보(環球時報) 보도와 함께 웨이보에도 이 같은 사실에 의미와 전망을 담은 글이 올라옴.- 중국과학원 이화학기술연구소의 쉬쭈이엔(許祖彦) 원사(院士) 등 검수팀 전문가 모두 "해당 장비는 365나노미터 광원파장 하에 단일노출 최고 해상도가 22나노미터에 달하는 것으로 말했다"고 밝힘.- 원리상 불가능했던 해상도 회절 한계를 극복, 고해상도이면서 면적도 큰 나노장비 연구개발(R&D)을 위한 새로운 노선을 수립했다고 자화자찬. 해외 특허 장벽도 피해갈

○중국, 반도체 리소그래피 장비를 자체 개발- 중국과학원 광전자기술연구소(광전소)는 그 동안 연구개발(R&D)해왔던 초해상 리소그래피 장비가 11월 30일 국가검수를 통과했다고 밝힘.- 중국과학원은 중국 과학장비 연구를 맡는 곳임. 리소그래피는 반도체를 제조할 때 핵심이 되는 장비로 네덜란드 ASML이 전 세계 시장을 장악하고 있음. 일본 니콘도 ArF 장비를 끝으로 더 이상 R&D를 진행하지 않고 있음.- 광전소 부(副)총 설계사 호송(胡松)은 기자에게 "이번 리소그래피 장비는 완전히 새 로운 자외선 초해상 광학 기술

○대만 폭스콘(홍하이정밀공업), 반도체 분야로 사업 영역을 넓혀- 폭스콘 산하 반도체 설비 전문업체 징딩(京鼎)정밀과기는 중국 난징 푸커우(浦口) 경제개발구역 에 20억위안을 투자, 제조시설을 갖출 계획임.- 징딩정밀과기는 대만 신주(新竹)과학단지 주난(竹南)기지에 본사가 있음. 미국과 중국에 거점을 두고 세계화를 추진 중. 주요 생산 설비는 박막증착, 탐지기, 레이저 응용설비 및 자동화 전송설비 등 임. 반도체는 물론 액정표시장치(LCD) 산업 분야에도 응용됨.- 중국 난징 푸커우 경제개발구역에는 TSMC, 일월광(日月光, ASE

○ARM 생태계 기업 32곳 허페이에 88억위안 투자- 안웨이일보(安微日報)는 11월 28일 허페이 첨단기술단지가 ‘ARM(安創) 액셀러레이터(ARM Accelerator)’ 내의 30개 이상 국내외 우수기업과 ‘집적회로산업 집중 계약식’을 거행.- 투자액은 약 88억 위안.- 이 사업 총괄은 영국에 위치한 ARM으로 세계적인 반도체 지식재산권(IP) 제공업체임. 일본 소프 트뱅크가 인수한 이후 중국 자본에 ARM차이나 지분 51%를 팔았음.- 이번 계약식에 참여한 32개 기업을 뜯어보면, 반도체 설계 22개, 소재 장비 4개, 패

○상해 반도체 설계 산업단지 정식 개장- 11월 28일 상해 반도체 설계 산업단지 정식 개장. 이날 상해 시(市) 정부는 즈광그룹(칭화유니그 룹, 紫光集团有限公司)과 전략적 협력 계약을 체결.- 위원회 서기 리창(李强), 시 위원회 부서기, 시장(市長) 잉융(应勇)이 칭화유니그룹 사장 자오웨 이궈(赵伟国) 등 관련기업 책임자들과 회견을 가졌음.- 상해 반도체 설계 산업단지에는 WillSemi, 베이징 기가디바이스, 알리바바가 처음으로 입주함.○중국 최고위층이 관심 가지는 프로젝트- 리창은 제1차 중국국제수입박람회 개막식에서 시진핑(

| 출처 : 아이지웨이(爱集微), 디일렉 | 12월 20일○중국에 처음으로 반입된 ASML NXT2000i-지난 19일 중국 장쑤성(江苏) 우시공장에 네델란드 반도체 장비업체 ASML의 최신 DUV(Deep UV, 심자외선) 노광장비 NXT2000i가 반입됨. 중국에 처음으로 수입된 장비라고 현지 언론이 보도.-ASML는 올해 2분기 컨퍼런스콜에서 이 장비 출하 시작을 알리며 "EUV(Extreme UV, 극자외선) 장비와 함께 사용해, 5·7나노미터(nm) 로직 노드(node)에서 2.5나노미터 수준의 생산 오버레이 (on-pro